Các Yếu Tố Hiện Thực Kỹ Thuật Của Chip Cảm Biến Dẫn Truyền Xương.

Các yếu tố thực hiện kỹ thuật:

3. Theo quan điểm này, các phương án của công nghệ hiện tại nhằm mục đích cung cấp chip cảm biến dẫn truyền xương để giải quyết vấn đề về độ nhạy không ổn định của chip cảm biến dẫn truyền xương trong kỹ thuật trước đây.

4. Công nghệ hiện nay cung cấp một chip cảm biến dẫn truyền xương, bao gồm: màng rung; một khối khối lượng nằm ở một bên của màng rung; và một cơ cấu dừng để giới hạn biên độ dao động của khối lượng theo phương song song với màng rung. Cấu trúc dừng được sử dụng để hạn chế biên độ của dao động ngang của khối khối, do đó làm giảm mức độ giao thoa của dao động ngang đối với dao động dọc, đảm bảo rằng dao động dọc của khối ổn định hơn và cải thiện hơn nữa độ nhạy. tính đồng nhất của chip.

5. Theo một phương án, kết cấu nút bao gồm lớp nút thứ nhất đồng phẳng và lớp nút thứ hai, lớp nút thứ nhất nằm giữa vùng có thể chuyển động và khối lượng, và lớp nút thứ hai và vùng cố định được chồng lên nhau; có một khoảng cách giữa lớp thứ nhất và lớp thứ hai.

6. Theo một phương án, vật liệu của lớp nút thứ nhất và lớp nút thứ hai đều là polysilicon.

7. Theo một phương án, một lớp tế bào cũng được bao gồm và lớp tế bào bao gồm khu vực trung tâm được sắp xếp theo khoảng cách và một khu vực cạnh bao quanh khu vực trung tâm; khu vực trung tâm nằm giữa khu vực di chuyển và lớp dừng đầu tiên, và khu vực cạnh nằm giữa khu vực cố định và khu vực cạnh. Giữa các lớp dừng thứ hai; khu vực trung tâm và khu vực cạnh có khoảng thứ hai, khoảng thứ hai lớn hơn khoảng thứ nhất và thông với khoảng thứ nhất.

8. Theo một phương án, nó cũng bao gồm cấu trúc hỗ trợ; cấu trúc hỗ trợ bao gồm một khoang thứ nhất và khoang đầu tiên bao gồm một lỗ mở; khối khối nằm trong khoang đầu tiên, vùng chuyển động của màng rung bao phủ lỗ mở và vùng cố định được kết nối với giá đỡ. Kết cấu kết cấu.

9. Theo một phương án, tỷ số giữa khoảng cách thứ nhất với chiều dài của khoang thứ nhất lớn hơn 0 và nhỏ hơn hoặc bằng 1/10 trong phần đi qua đường tâm của khối lượng bằng chứng.

10. Theo một phương án, kết cấu dừng bao gồm khoang thứ nhất, khối khối lượng nằm trong khoang thứ nhất, và thành bên của khối khối lượng và thành của khoang thứ nhất được đặt cách nhau.

11. Theo một phương án, tỷ số giữa khoảng nhỏ nhất giữa thành bên của khối lượng và thành của khoang thứ nhất với chiều dài của khoang thứ nhất lớn hơn 0 và nhỏ hơn hoặc bằng 1/10.

12. Theo một phương án, khối lượng bằng chứng bao gồm một phần thân và ít nhất một phần nhô ra trên thành bên của phần thân.

13. Theo một phương án, khối lượng bằng chứng bao gồm khoang thứ hai.

14. Theo một phương án, khoang thứ nhất bao gồm một lỗ mở; màng ngăn bao gồm vùng có thể di chuyển và vùng cạnh bao quanh vùng có thể di chuyển được; khu vực di chuyển bao phủ lỗ mở và khu vực cố định được kết nối với kết cấu dừng.

15. Theo một phương án, nó cũng bao gồm một tấm đáy ở phía bên của khối khối cách xa màng rung; kết cấu nút chặn bao gồm ít nhất một phần nhô ra được bố trí trên bề mặt của tấm đáy gần với khối khối, và phần cuối của mỗi phần nhô ra là Bề mặt đi qua khối khối; theo phương song song với màng ngăn, có một khoảng trống giữa thành bên của mỗi phần nhô ra và thành bên của khối lượng.

16. Theo một phương án, vật liệu nâng lên bao gồm bất kỳ một trong số silicon, oxit silic và keo.

Liên hệ chúng tôi:

Email: zhang@pride-cnc.com

Điện thoại: cộng với 86-755-23699351

Mob: cộng với 8618666663894