Thiết bị cơ điện tử vi mô và phương pháp sản xuất và các yếu tố hiện thực hóa kỹ thuật

Các yếu tố thực hiện kỹ thuật:

4. Theo quan điểm của các vấn đề trên, sáng chế được đề xuất. Sáng chế đề xuất một cấu trúc thiết bị mems mới, có thể tránh sử dụng dầm công xôn, có độ bền cao hơn và có cấu trúc đơn giản hơn. Sáng chế cũng cung cấp một phương pháp sản xuất mới của thiết bị mems, phương pháp này có các bước quy trình đơn giản và có thể cải thiện năng suất sản xuất.

5. Theo một phương án được lấy làm ví dụ, thiết bị vi cơ điện tử có thể bao gồm: chất nền cách điện; một trụ đỡ được bố trí trên nền, trụ đỡ hỗ trợ một khối lượng bằng chứng; xung quanh tấm nền trên đế Một hoặc nhiều cặp bản điện cực được bố trí trên khối khối, mỗi cặp tấm điện cực được bố trí ở hai phía đối diện của khối khối; và tấm che cách điện, trên đó bố trí một cặp bản điện cực tương ứng với một hoặc nhiều cặp bản điện cực hoặc nhiều cặp điện cực, khi tấm che phủ lên một hoặc nhiều cặp bản điện cực thì một hoặc nhiều cặp. của các điện cực lần lượt tiếp xúc điện với một hoặc nhiều cặp bản điện cực.

6. Theo một số phương án, trụ đỡ, khối lượng bằng chứng và một hoặc nhiều cặp tấm điện cực được tạo thành từ vật liệu dẫn điện hoặc bán dẫn và các dây dẫn dẫn điện nối với trụ đỡ được nối từ một phía của đế. Dẫn ra, các dây dẫn dẫn điện nối với một hoặc nhiều cặp điện cực được dẫn ra từ một phía của tấm bìa.

7. Theo một số phương án, tấm che được tạo ra với khe hở giữa một hoặc nhiều cặp điện cực để lộ trụ đỡ và khối lượng bằng chứng.

8. Theo một số phương án, chiều cao của khối lượng bằng chứng thấp hơn chiều cao của một hoặc nhiều cặp bản điện cực.

9. Theo một số phương án, thiết bị vi cơ điện tử được sử dụng làm gia tốc kế và một hoặc nhiều cặp tấm điện cực được sử dụng để đo sự thay đổi điện dung do sự thay đổi vị trí của khối lượng bằng chứng.

10. Theo một số phương án, thiết bị vi cơ điện tử được sử dụng làm con quay hồi chuyển và một hoặc nhiều cặp tấm điện cực bao gồm ít nhất một cặp tấm điện cực thứ nhất và một cặp tấm điện cực thứ hai, cặp tấm điện cực đầu tiên cho ổ A. Tín hiệu được sử dụng để điều khiển khối lượng bằng chứng dao động giữa cặp bản điện cực thứ nhất và cặp bản điện cực thứ hai được sử dụng để đo sự thay đổi điện dung do sự thay đổi vị trí của khối lượng chứng minh.

Liên hệ chúng tôi:

Email: zhang@pride-cnc.com

Điện thoại: cộng với 86-755-23699351

Mob: cộng với 8618666663894