Thiết bị vi cơ điện tử và phương pháp chế tạo giống nhau

1. Sáng chế đề cập đến một thiết bị vi cơ điện tử và phương pháp sản xuất chúng.

Kỹ thuật nền:

2. Thiết bị vi cơ điện tử (mems) là công nghệ được phát triển toàn diện trên nền tảng công nghệ vi điện tử, công nghệ sản xuất chất bán dẫn và các ngành khác, tích hợp nhiều lĩnh vực kỹ thuật như in thạch bản, ăn mòn, lắng đọng màng mỏng, vi cơ và gia công chính xác, hiện thực thu nhỏ các thiết bị chính xác để đáp ứng nhu cầu của các ứng dụng khác nhau. Các thiết bị mems phổ biến bao gồm gia tốc kế và con quay hồi chuyển.

3. Các máy đo gia tốc hay con quay hồi chuyển mems hiện nay hầu hết sử dụng hai hoặc nhiều kết cấu dầm công xôn để đỡ khối khối. Khối mass có thể bị dịch chuyển do gia tốc hoặc có thể được điều khiển để dao động, đồng thời đo sự thay đổi điện dung do khối mass gây ra. Gia tốc và vận tốc góc có thể được đo. Tuy nhiên, quá trình sản xuất dầm đúc hẫng rất phức tạp, dễ xảy ra vấn đề mất cân bằng ứng suất giữa các dầm đúc hẫng.

Liên hệ chúng tôi:

Email: zhang@pride-cnc.com

Điện thoại: cộng với 86-755-23699351

Mob: cộng với 8618666663894