Phương pháp sản xuất thiết bị MEMS

lĩnh vực kỹ thuật

1. Sáng chế đề cập đến thiết bị mems có phân bố ứng suất được cải thiện.

Kỹ thuật nền:

2. Như đã biết, các thiết bị điện tử mems ("Hệ thống cơ điện vi mô"), chẳng hạn như thiết bị truyền động và / hoặc cảm biến, thường được hình thành trên nền chứa một khoang và bao gồm các cấu trúc di động được treo từ khoang bên trên và được giới hạn bởi đàn hồi phần tử vào khu vực cố định. Chất nền, cấu trúc di động và phần tử đàn hồi có thể là không thể tách rời và thường được hình thành từ vật liệu bán dẫn như silicon.

3. Các thiết bị điện tử này cũng bao gồm: một hoặc nhiều cơ cấu dẫn động và / hoặc cơ cấu phát hiện, được ghép nối với cơ cấu có thể di chuyển được; và các mạch điều khiển điện, được tích hợp trong cùng một chất nền hoặc được hình thành trong các chất nền khác nhau và Việc ghép nối với cấu trúc phát hiện và / hoặc kích hoạt có thể cung cấp tín hiệu truyền động điện cho cấu trúc truyền động và / hoặc nhận tín hiệu phát hiện điện từ cấu trúc phát hiện.

4. Về chi tiết, cơ cấu truyền động có thể gây ra dịch chuyển, ví dụ như chuyển động quay, của cơ cấu chuyển động khi được điều khiển bởi một tín hiệu truyền động điện tương ứng. Tương tự, cấu trúc phát hiện được cấu hình để tạo ra các tín hiệu điện tương ứng là một chức năng của các điều kiện hoạt động của kết cấu có thể di chuyển và ví dụ, một chức năng của phạm vi quay của kết cấu di động.

5. Mạch điều khiển điện và cấu trúc kích hoạt và / hoặc phát hiện thường được kết nối điện với nhau bằng các rãnh dẫn điện, ví dụ được hình thành từ một chồng các lớp dẫn điện.

6. Đường ray dẫn điện thường kéo dài trên các khu vực cố định, các phần tử đàn hồi và đôi khi một phần trên các kết cấu có thể di chuyển được.

7. Trong quá trình sử dụng, sự dịch chuyển của kết cấu di động dẫn đến biến dạng, ví dụ như xoắn, của các phần tử đàn hồi làm hạn chế kết cấu di động trong khu vực cố định.

Liên hệ chúng tôi:

Email: zhang@pride-cnc.com

Điện thoại: cộng với 86-755-23699351

Mob: cộng với 8618666663894